I. Glavne uporabe in funkcije molibdena
Molibden je srebrno-bel kovinski element z odličnimi fizikalnimi in kemijskimi lastnostmi, zaradi česar se pogosto uporablja na različnih področjih. Sledijo glavne uporabe in funkcije molibdena:
1. Jeklarska industrija: molibden prevladuje v jeklarski industriji in predstavlja približno 80 % celotne porabe molibdena. Izboljša trdnost jekla, trdoto, odpornost proti obrabi in odpornost proti koroziji, kar ima za posledico boljše delovanje in daljšo življenjsko dobo. Na primer, nerjavno jeklo,-ki vsebuje molibden, se pogosto uporablja v korozivnih okoljih, kot sta kemična in pomorska industrija.
2. Kemična industrija: molibdenove spojine se pogosto uporabljajo kot katalizatorji v kemični industriji. Na primer, molibdenov disulfid se lahko uporablja kot katalizator za hidrodesulfurizacijo in krekiranje ogljikovodikov, medtem ko se molibdenov oksid uporablja pri izdelavi različnih pigmentov in barvil.
3. Elektronska industrija: molibden se uporablja predvsem kot material za elektrode v elektronski industriji. Zaradi visoke -temperaturne stabilnosti in dobre električne prevodnosti se molibdenove elektrode pogosto uporabljajo v elektronskih napravah, kot so elektronske cevi, tranzistorji in usmerniki. Molibden se uporablja tudi pri izdelavi grelnih elementov in toplotnih ščitov v vakuumskih pečeh.
II. Ključni koraki uporabe molibdena v proizvodnji polprevodnikov
S hitrim napredkom polprevodniške tehnologije je uporaba molibdena na tem področju postala vse bolj razširjena. Sledijo trije ključni koraki uporabe molibdena v proizvodnji polprevodnikov:
1. Ionska implantacija: V tem procesu se kot izvor ionov uporablja molibden. Ionska implantacija je metoda uvajanja dopantnih atomov v silicijeve rezine, ki lahko spremenijo prevodnost rezin. Zaradi visokega tališča in odlične odpornosti proti koroziji lahko molibden prenese reakcijo dopantnih plinov in erozijo s plazmo v komori, s čimer zagotavlja stabilnost in učinkovitost ionske implantacije.
2. Oprema za epitaksijo z molekularnim žarkom: epitaksija z molekularnim žarkom je visoko-natančna, visoko{2}}kakovostna tehnologija rasti polprevodniškega materiala. V tem procesu se molibden uporablja kot material za pregrade, držala substrata in druge komponente v vakuumski komori. Zaradi svoje visoke trdote in ravnosti zagotavlja molibden natančnost in konsistentnost kristalne strukture polprevodnika.
3. Fotolitografske maske: Med postopkom fotolitografije se kot maska uporabi material za zaščito določenih območij na silicijevi rezini pred fotorezistom. Molibdenova folija se pogosto uporablja kot material za masko za fotolitografijo zaradi svoje visoke natančnosti, visoke ponovljivosti in odlične odpornosti proti koroziji.
